單晶爐是利用石墨加熱器在惰性氣體(主要是氮?dú)夂秃?環(huán)境中熔化多晶硅等多晶硅材料,采用齊拉斯基法生長(zhǎng)無(wú)位錯(cuò)單晶的一種設(shè)備。它的內(nèi)部結(jié)構(gòu)*其復(fù)雜。但是單晶硅棒的生產(chǎn)對(duì)環(huán)境要求非常高。如果爐體溫度過(guò)高,爐體會(huì)變形,影響設(shè)備尺寸和單晶硅棒的生長(zhǎng)。如果爐體長(zhǎng)期處于高溫環(huán)境的工作狀態(tài),爐體上會(huì)出現(xiàn)裂紋,對(duì)爐體造成損壞,降低爐體的使用壽命。
為了降低單晶爐工作過(guò)程中的溫度,一般在單晶爐內(nèi)設(shè)置冷卻結(jié)構(gòu),通過(guò)冷卻水循環(huán)系統(tǒng)將單晶爐內(nèi)的熱量帶走,從而降低單晶爐內(nèi)的溫度。但是,水冷卻系統(tǒng)需要配備冷水機(jī)組、冷卻池、冷卻水泵、熱交換器等設(shè)備。整個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜,占用空間大,對(duì)水質(zhì)和流量有特殊要求。安裝和使用困難。
半導(dǎo)體工藝設(shè)備為大規(guī)模半導(dǎo)體制造提供了制造基礎(chǔ)。描繪電子產(chǎn)業(yè)未來(lái)的摩爾定律,將導(dǎo)致未來(lái)半導(dǎo)體器件的集成化和小型化程度更高,功能更強(qiáng)。
單晶爐
單晶爐是一種全自動(dòng)直拉單晶生長(zhǎng)爐,是利用石墨加熱器在惰性氣體(氮?dú)?、氦?環(huán)境中熔化多晶硅等多晶材料,采用直拉法生長(zhǎng)無(wú)位錯(cuò)單晶的設(shè)備。
單晶硅爐的模型有兩種命名方法,一種是進(jìn)料量,另一種是爐膛直徑。如120、150等型號(hào)由進(jìn)料量決定,85爐指的是主爐筒直徑。
單晶硅爐的主體由主機(jī)、加熱電源和計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)組成。
制冷機(jī)主要應(yīng)用于空調(diào)冷卻系統(tǒng)、冷凍系列、注塑、制革、發(fā)泡、發(fā)電、汽輪機(jī)、鋁型材加工、空壓機(jī)、工業(yè)水冷卻等領(lǐng)域,應(yīng)用最多的為空調(diào)冷卻、冷凍、塑膠化工行業(yè)。
工業(yè)生產(chǎn)或制冷工藝過(guò)程中產(chǎn)生的廢熱,一般要用冷卻水來(lái)導(dǎo)走。冷卻塔的作用是將挾帶廢熱的冷卻水在塔內(nèi)與空氣進(jìn)行熱交換,使廢熱傳輸給空氣并散入大氣中。
例如:火電廠內(nèi),鍋爐將水加熱成高溫高壓蒸汽,推動(dòng)汽輪機(jī)做功使發(fā)電機(jī)發(fā)電,經(jīng)汽輪機(jī)作功后的廢汽排入冷凝器,與冷卻水進(jìn)行熱交換凝結(jié)成水,再用水泵打回鍋爐循環(huán)使用。這一過(guò)程中乏汽的廢熱傳給了冷卻水,使水溫度升高,挾帶廢熱的冷卻水。
單晶硅片的工藝流程
硅,地球上有很多含硅的東西。似乎90%以上都是晶硅,也就是單晶硅。太陽(yáng)能級(jí)硅的純度在6N以上。
首先是石頭(所有的石頭都含有硅)。將石頭加熱至液態(tài),再加熱至氣態(tài)。讓氣體通過(guò)一個(gè)密封的大盒子。盒子里有N個(gè)以上的子晶體用于加熱,兩端用石墨夾緊。當(dāng)氣體穿過(guò)盒子時(shí),子晶體會(huì)將其中一種氣體吸收到子晶體上,子晶體就會(huì)逐漸變厚。因?yàn)闅怏w變成固體,很慢,大約一個(gè)月左右,盒子里有很多長(zhǎng)初級(jí)多晶硅。
單晶硅芯片由此進(jìn)入生產(chǎn)過(guò)程:
1. 酸洗:用稀硝酸HNO3進(jìn)行清洗,去除精煉過(guò)程中產(chǎn)生的表面雜質(zhì)和四氯化硅。
2. 清洗:清洗酸洗后硅材料的殘留雜質(zhì)。
華祥工業(yè)冷水機(jī)廠家提供單晶硅爐冷卻,單晶硅爐制冷解決方案,單晶硅爐冷凍,價(jià)格合理,品質(zhì)保證。






